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Digital AeroBar® with Software Control

MODEL 5225

成都西野贸易有限公司

主营：美国，日本等国进口工业品，直接与国外对接；

作为工业用产品的先驱，我们拥有多年的服务经验；

追求高质量的服务与品质，致力于长久同行的合作；

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Simco-Ion 型号 5225 离子棒，以数码电路设计和透过软件操控，满足设备内的防静电需求。它提供高离子输出量，能快速中和晶圆上的静电，符合 E78 标准上最严格的要求。棒身以空气动力学设计和高洁净度材料制造，使得 5225 离子棒在微型洁净室内，完全发挥静电防控能力，而不干扰室内层流气流。

5225 离子棒能结合设备系统，使用预编软件或开放的源代码范例，与设备接口的无缝连接，作出低成本的静电防控方案，减低维护费用，和有更好的警报功能。系统警报和信息能交替显示在设备控制器上，另有设备监控输出作其他警报提醒。

Simco-Ion 强大的软件系统提供全面的离子棒控制，设置包括：工作模式调整 (脉冲模式，稳态模式，待机)，信号同步，电离开关时间，输出功率，正负极的警报阈值，每根棒都能独立设置。精准的警报和维修检测，也能降低的故障耗时和诊断工作。

Simco-Ion 的型号 5225 离子棒，以数码电路设计和透过软件操控，满足设备内的防静电需求。它提供高离子输出量，能快速中和晶圆上的静电，符合 E78 标准上最严格的要求。

棒身以空气动力学设计和高洁净度材料制造，使得 5225 离子棒在微型洁净室内，完全发挥静电防控能力，而不干扰室内层流气流。

特点	优点
• 能与设备控制器完全结	• 使用配置的器材或者透过 IonMonitor 软件可以操控它的参数设置、运作模式和维护程序
• 每根离子棒的参数完全可调	• 在设备的每个安装区域，可以根据个别需求，微调操作参数
• 离子输出的监察	• 离子输出和效能稳定更能保持一致
• 多种长度选择，有三款长度是专为 EFEMs 设计的	• 可以满足不同的应用需求
• 单晶硅静电针	• 经业内验证的超高洁净的静电针材质，不会对晶圆造成污染

输入电压	24 VAC，50/60 Hz，1W (typ)，由介面模组提供
输出电压	0-20 kVDC，±10% @ 离子棒上每个极性，正负极性的输出可以通过软件的 GUI 设置
输出电流	<15 μA，电流和电压限定
信号接口	介面模组的 RS-485
接口	RJ-11 modular jack receptacles
调节	通过单独校准离子棒的每个极性的输出电流，来达到输出和平衡的稳定性
脉冲定频	每个极性的电离开关时序，0-10 秒 @ 0.1 秒调级，棒上的LED 显示电离极性
工作模式	脉冲直流，稳态直流，待机
警报	警报启动 - 当离子棒不能再维持设定的离子输出量，在棒上有红色的 LED 显示，或者显示在监控软件的 GUI 上；警报限制阈值可设定，作预防性维护。
静电针材质	单晶硅，可替换
预防性维护	维护周期 - 年度，半年度，或季度 - 取决于环境和制程的敏感度
臭氧产生	<0.005 ppm
EMI	低于背景水平
符合洁净度	ISO 14644-1 Class 1
LED 显示	正和负的红色 LED 会闪烁，表示工作。中间的红色 LED 快速闪烁表示警报。全部 3 个红色 LED 闪烁表示通信发生问题。报警也会在监控软件的 GUI 上显示
体积	5.3H x 3.1W x (56.9，72.1，90.7，112.8，141.2，163.6，191.8 or 214.4L) cm
重量	1.02 kg (56.9 cm) 长的棒 (约每 30 cm 长度，有 0.17 kg 重量)
封装	ABS plastics，防火阻燃
保修期	两年有限保修
证书	符合 SEMI-47
5200-1M6T 介面模组
输入电压	24 VDC，1.0A，±5%
通信	以太网 (RJ-45) 或串行线 (RS-232/DB9)
警报输出	设备监控接口，继电器接地 (在 V4.0 软件版本和以上提供)
输出接口	6 个 RJ-11 接口，可连接 6 根 5225 离子棒
体积	7.4H x 7.1W x 31.5L cm
重量	2 kg
LED 显示	电源 - 绿，通信 - 黄，警报 - 红灯
证书

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SIMCO思美高_MODEL 5225多根连合离子棒：全国供应