日本Fluoro福乐非接触式伯努利卡盘BC-K8-300多种角度可选

晶圆非接触传输贝尔努伊夹爪BC系列的特点

• 手持使用角度为20度、45度、90度的三点来选择主体部分，平放用的BC-K系列支持2英寸到12英寸。
  （使用角度是固定角度，无法更改使用角度）

• 由于引导停止器具有柔和的锥度，因此与晶圆边缘点接触。

• 带电防止聚碳酸酯使用的导环，可以进行目视位置确认和吸引状态确认。

• 通过采用本体部导电性尼龙树脂实现了轻量化。

• 两面都有图案印刷，并且可以处理50µm薄且难以处理的晶圆。

• 角型等与目标物相匹配的定制设计产品也能应对

由于贝尔努伊夹克用于高压，从安全角度出发，建议像气枪一样将按钮朝下使用。

非接触搬送用贝尔努伊夹头

平置用 300微米以下对应

• 材料

• 本体: 导电性MC尼龙
  导板: 防止带电的聚碳酸酯

• 付属品

• 导电性管 6×4（1.5米）

• 使用角度

• 20° / 45° / 90°