主要特点可同时测量表面粗糙度和轮廓形状的高精度触针式CNC表面纹理测量机。X1轴最高驱动速度可达40mm/s，Z2轴最高驱动速度可达200mm/s，可实现高速定位，可实现多次断面测量和多次测量的高吞吐量工件测量。X1轴和Z1轴安装了透射式线性编码器，实现了X1轴：5nm和Z1轴：0.8nm/1.6nm的高分辨率，并支持封装形状和表面粗糙度的批量测量。..Z1 轴检测器采用主动控制方法，可实现抑制动
可同时测量表面粗糙度和轮廓形状的高精度触针式CNC表面纹理测量机。
X1轴最高驱动速度可达40mm/s，Z2轴最高驱动速度可达200mm/s，可实现高速定位，可实现多次断面测量和多次测量的高吞吐量工件测量。
X1轴和Z1轴安装了透射式线性编码器，实现了X1轴：5nm和Z1轴：0.8nm/1.6nm的高分辨率，并支持封装形状和表面粗糙度的批量测量。..
Z1 轴检测器采用主动控制方法，可实现抑制动态测量力波动的宽范围测量。
通过同时控制 X 轴和 Y 轴上的两个轴，可以进行对角线测量。
由于Z1轴检测器内置碰撞安全装置，即使检测器本体干扰工件或治具也会自动停止。
CS-5000CNC 能够通过电动倾斜 X1 轴来连续测量水平面和斜率。
使用 Y 轴工作台，可通过 Y 方向定位扩大测量区域，例如测量多个工件时。
这台机器在测量需要高精度的非球面镜片方面有着良好的记录。除高精度主机外，还可轻松自动执行对测量精度和测量程序有很大影响的工作设置（倾斜和峰值点、底点检测）的选件（Y轴工作台、3D自动调平工作台） ，易于分析的专用软件（ASLPAK）受到好评。
规格
代码 CS-5000CNC（高立柱，带Y轴工作台） 测量范围 X 轴 (mm)
200
驱动速度J/S模式X轴（mm/s）
0-40
驱动速度 J/S 模式 Z 2 轴 (mm/s)
0-50
X 轴分辨率 (µm)
0.005
Z2 轴分辨率 (µm)
0.05
测量方向 表面粗糙度
双向推拉
测量面方向 表面粗糙度
在指示下
测量速度X轴表面粗糙度（mm/s）
0.02 至 0.2
CNC模式X轴驱动速度(mm/s)
最多 40 个
Z2轴驱动范围(mm)
300
X轴轮廓形状测量速度（mm/s）
0.02～2
测量范围 Z1 轴标准 (µm)
12000
测量范围 Z1 轴 2 倍 (µm)
24000
分辨率 Z1 轴标准 (µm)
0.0008
Z1 轴双分辨率 (µm)
0.0016
驱动速度 CNC 模式 Z 2 轴 (mm/s)
最多 200 个
直线度 X轴标准测针
(0.1 + 0.0015 L) μm L：驱动长度 (mm)
直线度精度 X轴双测头
(0.2 + 0.0015L) μm H: 驱动长度 (mm)
指令精度 X轴轮廓形状
± (0.3 + 0.002 L) μm L：驱动长度 (mm)
指令精度 Z1 轴轮廓形状
± (0.3 + | 0.02 H |) μm H: 测量高度 (mm)
长度测量单元 X 轴
光传输线性编码器
长度测量单元 Z2 轴
反射式线性编码器
X轴倾角（°）
-45（逆时针），+10（顺时针）
长度测量单元 Z1 轴
光传输线性编码器
触控笔上下移动
圆周运动
随动角爬升（°）
60
随动角向下 (°)
60
双倍测量力 (mN)
0.75
测力标准（mN）
四
基材
加布罗
底座尺寸（毫米）
750 x 600