FLUORO福乐

日本福乐FLUORO非接触式晶圆搬运伯努利吸盘BC系列

主体可选择20度、45度、90度,水平放置用BC-K系列支持2英寸到12英寸。(使用角度是固定的,不更换主体就不能改变使用角度。)由于导向挡块具有平缓的锥度,因此晶圆的边缘会在一点接触。由抗静电聚碳酸酯制成的导向环可以目视确认定位和吸力状态。主体采用导电性尼龙树脂,实现了轻量化。可处理双面印刷图案的晶圆,以及薄至50µm的难以处理的晶圆。我们还支持与目标对象匹配的定制设计产品,例如方形。

  • 主体可选择20度、45度、90度,水平放置用BC-K系列支持2英寸到12英寸。
    (使用角度是固定的,不更换主体就不能改变使用角度。)

  • 由于导向挡块具有平缓的锥度,因此晶圆的边缘会在一点接触。

  • 由抗静电聚碳酸酯制成的导向环可以目视确认定位和吸力状态。

  • 主体采用导电性尼龙树脂,实现了轻量化。

  • 可处理双面印刷图案的晶圆,以及薄至50µm的难以处理的晶圆。

  • 我们还支持与目标对象匹配的定制设计产品,例如方形。


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