FLUORO福乐

日本福乐FLUORO耐高温手动镊子H系列M800-200N

开发了SUS304和Vespel的强键合方法。该工艺使支撑部分变薄并防止其接触相邻的晶圆。即使在高温 (288°C) 下也能保持稳定的性能。它还可以有效防止颗粒产生。

  • 开发了SUS304和Vespel的强键合方法。该工艺使支撑部分变薄并防止其接触相邻的晶圆。

  • 即使在高温 (288°C) 下也能保持稳定的性能。它还可以有效防止颗粒产生。


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