日本福乐FLUORO用于晶圆转移的真空镊子C001-D-X-100-97

真空镊子的主体使用含有碳纤维的尼龙树脂（Torayca），具有优异的物理性能和导电性。此外，内部阀门部分使用氟树脂，并采用不损害气密性的特殊成型方法采用碳纤维覆盖周围的结构。因此，可以像传统的 F 系列一样顺畅地打开和关闭阀门。(专利)

主机后部连接的尼龙接头由比阻值10的6次方±2次方控制。

吸附头采用含有碳纤维和纳米碳管的导电PEEK树脂材料制成，具有优异的耐化学性、耐热性和韧性，机加工后经热处理和镜面处理，长期使用稳定。表现。

吸附吸头有多种尺寸可供选择，并且可以从多种晶圆尺寸中进行选择。