日本东京精密ACCRETECH表面粗糙度Surfcom CREST DX/SD
高稳定性双光路型激光干涉传感器应用东京精密的基本技术之一的光纤激光干涉测量系统，我们开发并安装了分辨率为 0.31 nm 的高稳定性双光路型激光干涉传感器。它具有 42,000,000:1 的动态范围和分辨率，是一款划时代的设备，可以通过一条轨迹评估大范围的轮廓形状和隐藏在这些形状中的微小表面形状。在驱动单元中配备直线电机（已获专利）通过直线电机驱动实现高精度、高速移动。低振动可实现稳定的高倍率测
高稳定性双光路型激光干涉传感器应用东京精密的基本技术之一的光纤激光干涉测量系统，我们开发并安装了分辨率为 0.31 nm 的高稳定性双光路型激光干涉传感器。它具有 42,000,000:1 的动态范围和分辨率，是一款划时代的设备，可以通过一条轨迹评估大范围的轮廓形状和隐藏在这些形状中的微小表面形状。在驱动单元中配备直线电机（已获专利）通过直线电机驱动实现高精度、高速移动。低振动可实现稳定的高倍率测
