日本东京精密ACCRETECH三坐标测量机ZEISS PRISMO® ultra
达到最高水平的精度E0的高精度，MPE = 0.5+L/500 μm是通过安装超高分辨率刻度和各种技术来实现的，这些技术可以最大限度地减少温度变化对测量结果的影响。配备以 Zerodur® 为材料的超高分辨率刻度每个轴都配备了蔡司 PRISMO ®系列中最高分辨率的 0.02 μm 刻度尺。此外，使用热膨胀系数极小的Zerodur ®作为标尺材料，将环境温度变化对精度的影响降到最低。先进的CAA校
达到最高水平的精度E0的高精度，MPE = 0.5+L/500 μm是通过安装超高分辨率刻度和各种技术来实现的，这些技术可以最大限度地减少温度变化对测量结果的影响。配备以 Zerodur® 为材料的超高分辨率刻度每个轴都配备了蔡司 PRISMO ®系列中最高分辨率的 0.02 μm 刻度尺。此外，使用热膨胀系数极小的Zerodur ®作为标尺材料，将环境温度变化对精度的影响降到最低。先进的CAA校