日本东京精密ACCRETECH三坐标测量机ZEISS XENOS®
主体主要结构件采用创新碳化硅陶瓷碳化硅陶瓷与传统主机结构件所用的氧化铝陶瓷相比，具有低膨胀（热膨胀0.5倍）、高刚性（刚度1.3倍）、重量轻（质量0.8倍）等优越特性。是实现XENOS高精度不可或缺的重要元素。虚拟中心驱动与一般的三坐标测量机不同，XENOS全轴采用直线驱动结构。此外，新开发的Y轴双驱动结构（虚拟中心驱动）除了传统的中心驱动概念外，还根据伴随X轴移动的重心变化优化了左右驱动控制。在
碳化硅陶瓷与传统主机结构件所用的氧化铝陶瓷相比，具有低膨胀（热膨胀0.5倍）、高刚性（刚度1.3倍）、重量轻（质量0.8倍）等优越特性。是实现XENOS高精度不可或缺的重要元素。
与一般的三坐标测量机不同，XENOS全轴采用直线驱动结构。
此外，新开发的Y轴双驱动结构（虚拟中心驱动）除了传统的中心驱动概念外，还根据伴随X轴移动的重心变化优化了左右驱动控制。在整个测量范围内实现非常高的重复性。