三丰MITUTOYO

三丰MITUTOYO 超高精度数控三坐标测量机LEGEX

主要特点LEGEX系列是一款超高精度CNC坐标测量机,通过彻底分析和消除误差因素,拥有世界最高水平的精度。主体底座采用精心挑选的材料制成,采用密封结构,实现高刚性和高阻尼。此外,使用有限元结构分析模拟的应力分析被彻底执行,以确保几何运动精度,最大限度地减少由于负载波动引起的变形。此外,我们还引入了多项技术以实现超高精度,例如驱动单元的结构和振动对策。用于位置检测的测长单元配备了超高精度测长单元(内

主要特点

  • LEGEX系列是一款超高精度CNC坐标测量机,通过彻底分析和消除误差因素,拥有世界最高水平的精度。
  • 主体底座采用精心挑选的材料制成,采用密封结构,实现高刚性和高阻尼。此外,使用有限元结构分析模拟的应力分析被彻底执行,以确保几何运动精度,最大限度地减少由于负载波动引起的变形。此外,我们还引入了多项技术以实现超高精度,例如驱动单元的结构和振动对策。
  • 用于位置检测的测长单元配备了超高精度测长单元(内部制造),该单元结合了热膨胀系数为≒0的超高精度结晶玻璃标尺和高精度高分辨率高性能反射式线性编码器,具有极高的位置检测能力,可实现超高精度的机器控制。
  • 超高精度机器的安装环境需要恒温室等级,但温度补偿功能可以保证在大范围温度环境下的精度。
  • 我们提供多种选项,包括探头(接触式和非接触式)和数据处理设备,以支持对各种工件的简单和超高精度测量。

规格

代码LEGEX574LEGEX774LEGEX776LEGEX9106
测量范围 X 轴 (mm)
500
700 700
700 700
900
测量范围 Y 轴 (mm)
700 700
700 700
700 700
1000
Z轴测量范围(mm)
450
450
600
600
驱动速度 CNC 模式 最大组合速度 (AUTO) (mm/s)
200
200
200
200
驱动加速度(最大组合加速度)(mm / s²)
980
980
980
980
最小显示量(mm)
0.00001
0.00001
0.00001
0.00001
引导方式(各轴)
空气轴承
空气轴承
空气轴承
空气轴承
长度测量单元
线性编码器
线性编码器
线性编码器
线性编码器
被测物最大高度(mm)
700 700
700 700
850
850
主体气压(MPa)
0.5
0.5
0.5
0.5
机体耗气量(L/min)
120 L/min(160 L/min以上作为气源)
120 L/min(160 L/min以上作为气源)
120 L/min(160 L/min以上作为气源)
120 L/min(160 L/min以上作为气源)
测量台材质
铸铁
铸铁
铸铁
铸铁
测量台尺寸(安装面)(mm)
550×750
750 x 750
750 x 750
950 x 1050
被测物最大装载质量(kg)
250
500
500
800
其他
【机身精度】长度测量误差(μm):E0,MPE=0.28+L/1000~(使用MPP310Q时)L = 任意测量长度(单位:mm)
【机身精度】长度测量误差(μm):E0,MPE=0.28+L/1000~(使用MPP310Q时)L = 任意测量长度(单位:mm)
【机身精度】长度测量误差(μm):E0,MPE=0.28+L/1000~(使用MPP310Q时)L = 任意测量长度(单位:mm)
【机身精度】长度测量误差(μm):E0,MPE=0.28+L/1000~(使用MPP310Q时)L = 任意测量长度(单位:mm)

外形尺寸

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