理研RIKEN KEIKI用于C4F6・C5F8・COS的检测器 TP-70DGⅡ
用于C4F6・C5F8・COS的检测器 TP-70DGⅡ特征：通过采用含有催化剂的热分解器，实现减少干扰带来的影响单触式的传感器更换方式搭载新型智能化传感器采用易于观察的大型字符LCD搭载流量自动调整功能用途：用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测用于无尘室内的环境监测商品目录使用说明资料介绍产品类别固定式类型智能型检测部检测对象气体C4F6/C
用于C4F6・C5F8・COS的检测器 TP-70DGⅡ
特征：
通过采用含有催化剂的热分解器，实现减少干扰带来的影响
单触式的传感器更换方式
搭载新型智能化传感器
采用易于观察的大型字符LCD
搭载流量自动调整功能
用途：
用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS
用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测
用于无尘室内的环境监测
产品类别 | 固定式 |
类型 | 智能型检测部 |
检测对象气体 | C4F6/C5F8/COS |
检测原理 | 催化＋定电位电解式 |
检测范围 | 0～5ppm（C4F6・C5F8） |
检测方式 | 泵吸式 |
报警种类 | 气体报警/故障报警 |
报警内容 | 1st：ALM1指示灯闪烁、或亮灯(红色) |
电源 | AC100～240V±10% |
外形尺寸・重量 | 约180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分） |
使用时的温湿度范围 | 20～40℃（无骤变） |