MUSASHI武藏

MUSASHI武藏 全自动晶圆级点胶机FAD5100S-WH

FAD5100系列的进化,实现尖端的后端工艺。将晶圆上的器件排列设置为自身。有助于显着减少编程工时。・ 不间断连续运转的高速涂敷:快速点胶功能。・ 不间断连续运行的高速对齐:快速对齐功能。・ 涂布量的自动管理:DVM功能。・ 形成理想的涂层图案“叶线”以避免空洞:MCD 功能[PAT.P]。・ 防止质量缺陷:AFC 功能。・配备晶圆映射功能。规格外形规格姓名全自动晶圆级点胶机FAD5100S-WH

FAD5100系列的进化,实现尖端的后端工艺。
将晶圆上的器件排列设置为自身。有助于显着减少编程工时。

全自动晶圆级点胶机FAD5100S-WH-1图片
・ 不间断连续运转的高速涂敷:快速点胶功能。
・ 不间断连续运行的高速对齐:快速对齐功能。
・ 涂布量的自动管理:DVM功能。
・ 形成理想的涂层图案“叶线”以避免空洞:MCD 功能[PAT.P]。
・ 防止质量缺陷:AFC 功能。
・配备晶圆映射功能。

规格外形规格

姓名
全自动晶圆级点胶机FAD5100S-WH
模型
FAD5100S-WH
控制方式
PC/PLC 控制(符合 SMEMA)
适用工作
12”晶圆、8”晶圆


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