NEW COSMOS新宇宙 XPS-7Ⅱ
产品详情PRODUCT DETAILS产品描述：只需更换传感器组件，即可检测各种半导体材料气体01.产品特点· 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体· 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正· 可以大幅度削减成本和维护时间02.产品用途· 半导体工厂/石油化学工厂等· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测03.对象气体型号气体满量程XDS-7NHNH3100ppmXDS
产品详情
PRODUCT DETAILS
产品描述：只需更换传感器组件，即可检测各种半导体材料气体
01.产品特点
· 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
· 用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
· 可以大幅度削减成本和维护时间
02.产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.对象气体
| 型号 | 气体 | 满量程 |
| XDS-7NH | NH3 | 100ppm |
| XDS-7SH | SiH4 | 25ppm |
| XDS-7DC | SiH2Cl2 | 25ppm |
| XDS-7AH | AsH3 | 250ppb |
| XDS-7PH | PH3 | 1ppm |
| XDS-7BH | B2H6 | 500ppb |
| XDS-7SE | H2Se | 250ppb |
| XDS-7GH | GeH4 | 1ppm |
| XDS-7CL | Cl2 | 5ppm |
| XDS-7CF | ClF3 | 1ppm |
| XDS-7HC | HCl | 25ppm |
| XDS-7HF | HF | 10ppm |
| XDS-7HB | HBr | 10ppm |
| XDS-7NO | NO | 100ppm |
| XDS-7HS | H2S | 50ppm |
| XDS-7CO | CO | 250ppm |
| XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
| XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XDS-7SD | SO2 | 10ppm |
| XDS-7ND | NO2 | 10ppm |
| XDS-7NF | NF3 | 100ppm |
04.产品参数
