AITEC艾泰克MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2晶圆紫外线照射器，成都西野供应
晶圆紫外线照射器UV固化装置 Wafer UV irradiator特征应用示例各部分名称半导体制造工序（后工序）方面数据代表示例阵容列表紧凑、低成本的晶圆紫外辐照器，具有波长交换机制 特征● 使用LED作为UV照射光源的切割胶带UV固化装置 ● 可通过音量旋钮调节UV照射强度（0～100%）● UV照射器安装结构简单，可轻松更换UV辐照器至其他波长 可更换● 采用 N2 吹扫机制，减少 UV 固
紧凑、低成本的晶圆紫外辐照器，具有波长交换机制
特征
● 使用LED作为
UV照射光源的切割胶带UV固化装置 ● 可通过音量旋钮调节UV照射强度（0～100%）
● UV照射器安装结构简单，可轻松更换UV辐照器至其他波长 可更换
● 采用 N2 吹扫机制，减少 UV 固化的氧气抑制● 采用 N2 预吹扫机制
，减少额外的 UV 照射时间
● N2 吹扫量可通过流量计阀门控制
UV照射光源的切割胶带UV固化装置 ● 可通过音量旋钮调节UV照射强度（0～100%）
● UV照射器安装结构简单，可轻松更换UV辐照器至其他波长 可更换
● 采用 N2 吹扫机制，减少 UV 固化的氧气抑制● 采用 N2 预吹扫机制
，减少额外的 UV 照射时间
● N2 吹扫量可通过流量计阀门控制
应用示例
● 背磨时晶圆保护膜的固化 ●
切割后UV固化切割胶带的固化
● 研发、实验使用
● 小量生产使用
各部分名称
半导体制造工序（后工序）
方面
典型示例：MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.2
* 请注意，规格可能会因产品改进而发生变化。
数据代表示例
阵容列表
MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2
辐照器类型 发射波长 N2气体流量 机身尺寸 W / D / H [mm] 输入电源电压 [V] UV-LED 表面辐照器 可选择 365nm 385nm 395nm 405nm 1-10NL/min（流量可调） 350 x 600 x 190 AC100-240