ULVAC爱发科CCMT-1000D电容压力计CCMT-D系列
电容压力计CCMT-D系列CCMT-1000DULVAC特性/规格常问问题适用性报告CCMT-D系列是一种电容式压力计，当由陶瓷制成的膜片因气体压力变化而变形时，电容会发生变化，从而检测压力。传感器单元采用陶瓷制成的一体化结构，因此具有出色的再现性和稳定性，无论气体类型如何（绝压真空计）都可以准确测量低至中真空范围内的压力。特征长期稳定性采用陶瓷膜，耐腐蚀性优异内置温度补偿电路型新采用的结构，可保
电容压力计
CCMT-D系列
CCMT-1000D
ULVAC
CCMT-D系列是一种电容式压力计，当由陶瓷制成的膜片因气体压力变化而变形时，电容会发生变化，从而检测压力。
传感器单元采用陶瓷制成的一体化结构，因此具有出色的再现性和稳定性，无论气体类型如何（绝压真空计）都可以准确测量低至中真空范围内的压力。
传感器单元采用陶瓷制成的一体化结构，因此具有出色的再现性和稳定性，无论气体类型如何（绝压真空计）都可以准确测量低至中真空范围内的压力。
特征
长期稳定性
采用陶瓷膜，耐腐蚀性优异
内置温度补偿电路型
新采用的结构，可保护传感器免受污染
可通过按钮进行零点调整
用法
用于沉积设备过程中的压力监测
用于真空排气系统的压力监测，例如真空熔炼炉和真空热处理炉
用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测
规格
| 模型 | CCMT-D | ||
| 测量 满量程 | CCMT-1000D | 133kPa 满量程 | |
| CCMT-100D | 13.3kPa 满量程 | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa 满量程 | ||
| CCMT-1D | 133PaFS | ||
| 解析度 | 全箱为 0.003% | ||
| 精度 *1 | ±0.2% ±指示值温度系数 | ||
| 温度系数 | 零电压 | 0.005%FS/℃ | |
| 跨度电压 | 0.01% R/°C | ||
| 工作温度限制 | 10 至 50°C | ||
| 响应速度 | 30 毫秒或更短 | ||
| 接液部分材料 | Al2O3 、 Vacon70 * 2、SUS316* 3 | ||
| 输入功率 | DC14-30V, 1W | ||
| 输出 | 直流 0-10VF.S | ||
| 大量的 | 329g（直径12.7，标准型） | ||
| 外形尺寸 | 直径55mm x 117mm（直径12.7mm，标准型） | ||
| 配件 | 标准：12.7 直径管道 选项：NW16KF、Cajon 8VCR | ||
| 温度补偿 | 内置温度补偿电路 | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub 15 针公头 | ||
*1：通电 2 小时后 25°C
*2：18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
*3：28% Ni、23% Co、49% Fe