ULVAC爱发科

ULVAC爱发科热阴极电离真空计AxTRAN

热阴极电离真空计泛用型AxTRAN 系列AxTRANULVAC特性/规格常问问题該非判定結果報告書可选部件和消耗品AxTRAN 是一种热阴极电离真空计,在离子源和离子收集器之间带有 Bessel-Box 型能量过滤器。通过减少软X射线、ESD离子等引起的剩余电流,实现了0.5×10 -10 Pa的测量分辨率。特長能够测量10 -11 Pa量级的压力可降低软 X 射线、ESD 离子等的残余电流。1×

热阴极电离真空计

泛用型

AxTRAN 系列

AxTRAN

ULVAC

AxTRAN 是一种热阴极电离真空计,在离子源和离子收集器之间带有 Bessel-Box 型能量过滤器。通过
减少软X射线、ESD离子等引起的剩余电流,实现了0.5×10 -10 Pa的测量分辨率。

特長

  • 能够测量10 -11 Pa量级的压力

  • 可降低软 X 射线、ESD 离子等的残余电流。

  • 1×10 -2至 0.5×10 -10 Pa 的宽压力范围

  • 0 至 10V 的压力伪对数输出/每个数字的 1V 线性输出作为标准设备

  • 可输出 2 个设定值

  • BCD/RS232C 可能(可选)

  • 符合 CE 标准

用途

  • 用于高能加速器等真空设备的压力测量

  • 用于超高、超高真空设备的压力测量

规格

型式ISX2
测量压力范围5×10 -11~1×10 -2
測定分解能0.5×10 -10
表示数显 尾数 3 位 指数 2 位
脱气电子冲击解吸法
测量值输出每位线性输出尾数:0 至 10 VDC
伪对数输出:DC0~10V,每一位线性输出1V
设定点

2点

使用温度範囲10~40℃
使用湿度範囲15 至 80%(无冷凝)
电源电压AC85~240V
尺寸 W×D×H240mm×350mm×99mm
質量5.3 公斤
付属品AC100V(3P插头接地)电源线,使用说明书
选项測定子:X-11
传感器电缆:5、10、20m
BCD出力、RS232C/RS485


測定子型式X-11
能量过滤器Bessel-Box型
灯丝Ir・Y2O3/2本
安装法兰UFC-070
烘烤温度最高 300°C(移除电缆)


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