ST200-A/R/E

ULVAC

2021年日本真空工业协会“真空元件奖”

这是一个新系列的换能器类型“G-TRAN 系列多离子规”，可以连接不同测量范围的触针。本产品为三极管电离真空计，不易失去灵敏度，即使在真空计的恶劣环境下也能进行更长时间、更准确的真空测量。在继承长寿命、低运行成本的理念的同时，我们进行了改进，使其更加人性化。

特征

提高可用性：PC/智能手机连接可实现设定点设置、状态确认等。
灯丝寿命通知功能：灯丝功率监控可提前通知灯丝寿命
可连接不同量程的接点：采用多离子规，可根据应用选择接点。
紧凑：比传统产品小得多（控制器体积减少 56%），世界上最小的级别
扩充产品阵容：除了模拟输出规格（ST200-A）和串行通信规格（ST200-R）之外，还将增加EtherCAT规格（ST200-E）
世界首创三极管型金属电离真空计（专利申请中）：真空计即使在恶劣环境下也能实现长寿命
压力测量范围广：可测量从大气压到高真空范围（1×10 ⁺⁵至 1×10 ^-5 Pa）（连接选购件 SWU10-R 时）
精确的大气压测量：可以检查腔室开口的大气压（连接可选单元 SAU 时）

用法

用于有机EL、触控面板等制造设备的极限压力确认和过程控制
用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力
用于在含有许多碳氢化合物（油基）的大气中进行测量
用于在真空部件加工过程中残留切削油或清洁液的环境中进行测量
用于希望减少更换真空计测针频率的真空设备

*在腐蚀性气体（卤素气体）环境中使用时请与我们联系。

规格

模型		ST200-A	ST200-R	ST200-E（即将发布）
规格		标准规格	串行通信规范	EtherCAT 规格
自适应多离子规传感器		SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)
可连接传感器		多离子规传感器：1 个皮拉尼规 SWU10-R：1 个（选项）大气压传感器 SAU：1 个（选项）
重复性 (N ₂ )		ST200 独立模式：±2%
采样时间		60ms 5次移动平均处理
测量值输出		输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新时间		60毫秒
控制输入信号		使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集电极开路输入、负逻辑运行	-	-
控制输出信号		传感器错误，设定点 1/2/3，发射有效，灯丝功率监控额定值：24V _MAX，50mA _MAX，饱和电压 1V	-	-
串行通信规范		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED显示屏		POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化）
发射电流		2mA（1×10 ^-2 Pa以下）、10μA（1×10 ^-2 Pa以上）
脱气		电子轰击法，发射电流2mA，栅极电压约330V
传感器耐压		2×10 ⁺⁵ Pa（绝对压力） *法兰和卡箍的承受压力必须单独考虑。
传感器内部容积		17cm3 ^（ SWT-16）、19cm3 ^（ SWT-25）
工作温度限制		10 至 50°C
工作湿度范围		15 至 80%（无冷凝）
贮存温度		-20 至 65°C（未通电时无冷凝）
知识产权保护等级		IP30
电源电压		20 至 28 VDC（纹波、噪声 1% 或更低） 8W以下
输入/输出连接器		D-sub 15针（M2.6螺丝）
大量的		控制器：约 280g 触控笔（SWT-16、SWT-25）：80g
尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm（控制器部分）
符合标准		行政长官
选项	多离子计传感器	SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材质：灯丝：Ir/Y ₂ O ₃涂层其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐/镍镀层
	皮拉尼规	SWU10-R *也兼容传统 SPU
	皮拉尼压力传感器	SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材质: 灯丝 - Pt, 其他 - BS/Ni, 电镀, Ni, 焊料
	大气压传感器	SAU(NW16) 材质：SUS316L
	单元电缆	GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
	显示单元	1CH：ISG1（使用DC24V供电）
	显示单元电缆	SH200 和显示单元之间的电缆 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	连接器	输入/输出连接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺丝））
	其他	检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书

各模式规格

ST200-A/ST200-R/ST200-E有3种使用方式可供选择：多油表单模式、皮拉尼表组合模式、皮拉尼表和气压传感器三组组合模式。

模式	ST200-A/ST200-R/ST200-E 单模	ST200 -A/ST200-R/ST200-E +SWU10-R 组合模式	ST200 -A/ST200-R/ST200-E +SWU10-R+SAU 组合模式
测量压力范围	1.0×10 ^-5至 1.0×10 ⁺¹ Pa	1.0×10 ^-5至 1.0×10 ⁺⁵ Pa	1.0×10 ^-5至 1.0×10 ⁺⁵ Pa
测量精度	1.0×10 ^-4至 3.0×10 ⁺⁰ Pa： ±10%	1.0×10 ^-4至 1.0×10 ⁺⁴ Pa：±10% 1.0×10 ⁺⁴至 1.0×10 ⁺⁵ Pa：±20%	1.0×10 ^-4至 1.0×10 ⁺⁴ Pa：±10% 1.0×10 ⁺⁴至 3.0×10 ⁺⁵ Pa：±3% FS（3.0×10 ⁺³ Pa，参考温度 25°C）
连接图像
测量压力范围图像	当需要“大气压”确认（例如腔室打开）时，使用三重组合。