ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵 ES10
多级罗茨干式真空泵省电附件生态冲击：ES10ULVAC特性/规格常问问题适用性报告ECO-SHOCK 是一款划时代的附件，可与目前使用的干式真空泵相连，显着降低干式泵的能耗。特征干式真空泵耗电量最多可降低80%（与我司相比）在整个压力范围内不降低抽速易于安装用法用于排出空气、氮气、氩气等惰性气体的干式真空泵用于溅射等的装卸室的干式真空泵。规格模型ES10电源规格AC100～220V 50/60Hz
多级罗茨干式真空泵
省电附件
生态冲击：ES10
ULVAC
ECO-SHOCK 是一款划时代的附件，可与目前使用的干式真空泵相连，显着降低干式泵的能耗。
特征
干式真空泵耗电量最多可降低80%（与我司相比）
在整个压力范围内不降低抽速
易于安装
用法
用于排出空气、氮气、氩气等惰性气体的干式真空泵
用于溅射等的装卸室的干式真空泵。
规格
| 模型 | ES10 | |
| 电源 | 规格 | AC100～220V 50/60Hz 1相 |
| 能量消耗 | 65W（干泵用工艺气体，吹扫气体0Pa・m3/s） | |
| 控制 | 输入 | 远程启动/停止（带电压接点DC24V） 请准备接点容量为2.0A以上的无电压接点。 |
| 输出 | 过流报警输出（接点无电压） 接点容量：DC24V 1.0A | |
| 手术 | 手动启动开关 | |
| 展示 | 显示行驶时间 | |
| 外部的 | 尺寸 | 主体单元：175mm x 310mm x 240mm 阀门单元：Φ66mm x 110mm (NW40) |
| 大量的 | 本体单位：8.3kg 阀门单位：800g | |
| 联系 | 连接端口 | 预装 G1/4" (INLET, OUTLET) 连接器 |
| 推荐配管 | Φ9.52mm以上长度：3m以下 | |
| 制造商 | ULVAC | ||
| 型号名称 | LR60 | LR90 | LR180 |
| 排气速度*1 | 1300升/分钟 | 2100升/分钟 | 3980升/分钟 |
| 实测功耗 *2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW |
| 测量功耗 安装 ECO-SHOCK 时测量的功耗 *2 *3 *4 | 0.7kW | 1.0kW | 1.6kW |
| 功率降低率 | 67% | 72% | 76% |
*1 电源频率 60Hz*1 电源频率 60Hz
*2 功耗是极限压力下的代表值
*3 包括 ECO-SHOCK 功耗
*4 密封气体和气镇流量为 0 Pa m3/s 时。它根据密封气体和气镇的流量而变化。