ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵 LR系列 LR300
多级罗茨干式真空泵LR系列LR300ULVAC特性/规格常问问题适用性报告可选部件和消耗品干式真空泵 LR 系列通过我们独特的高温均衡技术有效利用压缩热，在 CVD 和蚀刻等硬工艺中实现了高耐久性。在轻量化过程中，与 ECO-SHOCK 结合使用可将功耗降低多达 80% 左右。此外，所有型号均符合 CE 标准（选项），以提高可维护性并降低噪音。有关 ECO-SHOCK 的更多信息，请参阅相关信息。
多级罗茨干式真空泵
LR系列
LR300
ULVAC
干式真空泵 LR 系列通过我们独特的高温均衡技术有效利用压缩热，在 CVD 和蚀刻等硬工艺中实现了高耐久性。
在轻量化过程中，与 ECO-SHOCK 结合使用可将功耗降低多达 80% 左右。
此外，所有型号均符合 CE 标准（选项），以提高可维护性并降低噪音。
有关 ECO-SHOCK 的更多信息，请参阅相关信息。
在轻量化过程中，与 ECO-SHOCK 结合使用可将功耗降低多达 80% 左右。
此外，所有型号均符合 CE 标准（选项），以提高可维护性并降低噪音。
有关 ECO-SHOCK 的更多信息，请参阅相关信息。
特征
LR系列：
除用于低温区浸泡的惰性气体排气外，特别适用于缩短排气时间对提高产量很重要的装卸室排气。HR系列/UR系列：可将CVD、蚀刻等在高温范围内浸泡时
产生的气态升华排放物质排出。1000msec内瞬间停电对策
符合 CE 标准（可选）
用法
活性气体（CVD、干法蚀刻等）
惰性气体排放（溅射、气相沉积、热处理等）
缩短装载/卸载室的排气时间（LR 系列）
产生粉末的过程中的排气（Si单晶拉制等）
作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）
规格
| 类型名称 | 左/小时 60 | 左/小时 90 | LR 180 | LR421 _ | LR421- T | UR 421-T | LR/HR 300 | LR/ HR600 | UR600 _ | LR/HR 1200 | UR 1200 | ||
| 使用的泵 | DRP | 左/小时 60 | 左/小时 90 | LR 180 | LR421 _ | LR421- T | UR 421-T | 左/小时 60 | 左/小时 90 | UR 90 | 左/小时 90 | UR 90 | |
| MBP | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| 最大抽速 | 立方米/小时 | 50赫兹 | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60赫兹 | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| 升/分钟 | 50赫兹 | 1030 | 1860 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60赫兹 | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| 极限压力 | 帕 | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| 最大排气压力（吸入压力） | 气压 * | ||||||||||||
| 最大出口压力（排气压力） | 1 Pa 至大气压 | ||||||||||||
| 进气口（CE规格） | VG50 (KF40) | VG80 (KF50) | VG100 | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | ||||||||
| 排气口 | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| 干泵表面处理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| 机械增压泵表面处理 | - | - | - | - | - | - | ○ * | ○ * | ○ | ○ * | ○ | ||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| 电力 | 三相 | VAC (赫兹) | 200 (50/60), 220 (60) | 180-240/380-440 (50/60) | 200 (50/60), 220 (60) | ||||||||
| 当前值 | 正常时间 | 一个。 | 6.9/7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0/7.8 | 12.3/12.9 | 16.4 | 13.7/15.4 | 18.9 | |
| 最大值 | 一个。 | 7.0/7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6/8.1 | 19.0/13.8 | 17.3 | 24.2/18.9 | 22.4 | ||
| 冷却水一次压力 | 兆帕 | 0.1 至 0.3 | 0.2 至 0.5 | 0.1 至 0.3 | |||||||||
| 冷却水进出口压差 | 兆帕 | >0.1 | >0.2 | >0.1 | |||||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | >5.0 | >5.0 | ||||||||
| 吹扫气体 | 初级压力 | 兆帕 | 0.1 至 0.5 | ||||||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05 至 0.1 | |||||||||||
| N2吹扫_ | 轴 | SLM | 五 | ||||||||||
| 加斯巴拉 | SLM | 0-45 | 无*1 | 0-45 | 0 到 195 | 0-45 | |||||||
*请在订购时注明要使用的电压。
*对于 HR300、HR/UR600 和 HR/UR1200，请勿在 200Pa 或更高的吸入压力下连续运行。如果泵温度变得异常，联锁装置可能会被激活。
*对于LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT MBP，可选择表面处理。
*标准JIS法兰用于进气口。如果它符合 CE 标准，它将是 NW 类型。
*1 我们可以根据应用估计可以使用气球的规格。
■ 消音器（选项）
| 模型 | 材料 | 表面处理 | 质量（公斤） | 连接法兰 |
| RS-01 | SUS304 | GBB处理 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB处理 | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | 抛光板 | 12.5 | NW50 |
■ 型号兼容性表
| 套件名称 | 兼容型号 | 夹钳 | 外环 | 连接管 | 停留 |
| RS-01 套件 A | LR60、LR90、LR300 | 1 | 1 | ー | ー |
| RS-01 套件 B | LR600、LR1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 套件 A | LR180（LR60、LR90、LR300） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 套件 B | LR1800（LR600、LR1200） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03 套件 A | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03 套件 B | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR) | 3 | 3 | 1 | 1 |