ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵 LS系列 LS300A
螺杆式干式真空泵LS系列LS300AULVAC特性/规格常问问题适用性报告实现高速排气和低功耗的干式真空泵。共有 4 种型号,您可以根据设备的大小和使用条件选择具有最佳泵送能力的泵。特征■接近大气压的排气速度高,可以缩短排气时间。■ ECO-SHOCK 技术实现的低功耗(C 规格) 极限压力下的功耗为 0.6 kW 或更低(LS120A-C)■标配专用消音器。极限压力下的噪音值为 61 dB(A)
螺杆式干式真空泵LS系列LS300AULVAC特性/规格常问问题适用性报告实现高速排气和低功耗的干式真空泵。共有 4 种型号,您可以根据设备的大小和使用条件选择具有最佳泵送能力的泵。特征■接近大气压的排气速度高,可以缩短排气时间。■ ECO-SHOCK 技术实现的低功耗(C 规格) 极限压力下的功耗为 0.6 kW 或更低(LS120A-C)■标配专用消音器。极限压力下的噪音值为 61 dB(A)
螺杆式干式真空泵
LS系列
ULVAC
■接近大气压的排气速度高,可以缩短排气时间。
■ ECO-SHOCK 技术实现的低功耗(C 规格)
极限压力下的功耗为 0.6 kW 或更低(LS120A-C)
■标配专用消音器。极限压力下的噪音值为 61 dB(A) 或更低
■过去不需要轴封气体。*L 规格允许吹扫气体流动。
■排气速度120~1200m 3 /h级 ※与机械增压泵组合
C 规格:清洁工艺(LS***AC)
特点:内置ECO-SHOCK的低功耗型
应用:用于清洁排气,如排气和N2排气
溅射/蒸发/粘合/负载锁定室/TMP辅助,等等
L 规格:轻工艺(LS***AL)
特点:具有表面处理和吹扫功能的轻工艺类型应用: 真空干燥/冷冻干燥/灰化/一般工业用途等
用于蒸汽和挥发性化学物质排放等轻工艺
模型 | (C:C规格) | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
C。 | L. | C。 | L. | C。 | L. | C。 | L. | |||
最大抽速 | 立方米/小时 | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
极限压力 | 帕 | ≤0.6 | ≤0.1 | |||||||
动力压力 | 200V 级:三相,50/60Hz,AC200-240V 或 400V 级:三相,50/60Hz,AC380-480V | |||||||||
近似功耗值*1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
冷却水量 | 升/分钟 | >2.0 | >4.0 | |||||||
驳船气量*2 | SLM | ー | 0 到 50 | ー | 0 到 50 | ー | 0 到 50 | ー | 0 到 50 | |
最大蒸汽处理*3 | 公斤/小时 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | |
噪音水平 | 分贝(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
进气口 | KF(水平)/VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
排气口 | KF40 | |||||||||
大量的 | 公斤 | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
符合标准 | CE, cTUVus | |||||||||
标准配件 | 使用说明书(CD-R)、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器护罩 | |||||||||
机身选项 | 电压规格:200V级或400V级,密封材料:全氟橡胶(仅限L型) | |||||||||
外部选项 | MBP进气转换法兰、外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元(进气、信号)、吹扫气阀 |
*1:在极限压力下 *2:C 规格的边缘气体不能流动。*3:这是使用边缘气体时可以处理的最大水蒸气量。*4: C 规格不是无泄漏兼容的。