ULVAC爱发科LR系列多级罗茨干式真空泵LR180
多级罗茨干式真空泵LR系列LRULVAC特性/规格常问问题适用性报告可选部件和消耗品通过在低温范围内使泵体的温度均匀化，它是最适用于 PVD 工艺的泵，尤其适用于装载和卸载室的抽空，其中缩短抽空时间对于提高吞吐量很重要。特征低温区均热（LR 系列）除 PVD 工艺外，它特别适用于装卸室排气，其中缩短排气时间对于提高产量很重要。配备氦气密封罐装电机，由于其密封结构，非常安全。瞬时停电对策 1000m
多级罗茨干式真空泵
LR系列
LR
ULVAC
通过在低温范围内使泵体的温度均匀化，它是最适用于 PVD 工艺的泵，尤其适用于装载和卸载室的抽空，其中缩短抽空时间对于提高吞吐量很重要。
特征
低温区均热（LR 系列）
除 PVD 工艺外，它特别适用于装卸室排气，其中缩短排气时间对于提高产量很重要。配备氦气密封
罐装电机，由于其密封结构，非常安全。
瞬时停电对策 1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐蚀性
主要部件采用表面硬度高、耐蚀性优异的特殊表面处理。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。
可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。
用法
成膜设备（溅射设备/蒸镀设备等）
缩短装卸间的疏散时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵、机械增压泵的辅助排气）
规格
| 模型 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | ||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) | |
| 60赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) | ||
| 极限压力 | 5.0帕 | ||||||
| 最大入口压力（吸入压力） | 气压 | ||||||
| 最大出口压力（排气压力） | 1Pa～大气压 | ||||||
| 进气口（CE规格） | VG50 (KF50) | VG80 (KF50) | VG100 | ||||
| 排气口 | KF40 | VG50 | |||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 335 | 415 | ||
| 电源 *1 | 三相 | VAC (赫兹) | 200 (50/60) , 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | |||
| 当前值 | 正常时间 | 一个。 | 6.9（200V 时） | 11.2（200V 时） | 18.9（200V 时） | 20.8（200V 时） | |
| 最大值 | 一个。 | 7.3（200V 时） | 11.8（200V 时） | 20.6（200V 时） | 48.5（200V 时） | ||
| 临时冷却水压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||
| 冷却水进出口压差 | 兆帕 | >0.1 | >0.2 | ||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | ||||
| 吹扫气体 | 初级压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||
| N2吹扫_ | 轴 | SLM | 五 | ||||
| 加斯巴拉 | SLM | 0~45 | 没有任何 | 0~45 | |||
*1 请在订购时注明。
| 模型 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T(TT) | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) | ||
| 使用的泵 | DRP | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | |
| 公安部 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | 中国-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T) | PRC-036D | PRC-036D(DT) | ||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | 1,701 (28,350) | 3,200 (53,333) | |||
| 60赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 365 (6,080) | 701 (11,700) | 1,051M (17,500) | 1,784 (29,700) | 3,200 (53,333) | ||||
| 极限压力 | 0.67Pa | |||||||||
| 最大入口压力（吸入压力） | 气压 | |||||||||
| 最大出口压力（排气压力） | 1Pa～大气压 | |||||||||
| 进气口（CE规格） | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | ||||||
| 排气口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| MBP表面处理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × | T: × TT: × | × | TR: × TTR: 〇 | ||
| 大量的 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 电源 *3 | 三相 | VAC (赫兹) | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | ||||||
| 当前值 | 正常时间 | 一个。 | 7.0 （200V 时） | 12.3 （200V 时） | 13.7 （200V 时） | 21.4 （200V 时） | 31.0 (200V) 20.5 (400V) | 35.4 (200V) 20.5 (400V) | ||
| 最大值 | 一个。 | 9.6 （200V 时） | 19.0 （200V 时） | 24.2 （200V 时） | 39.8 （200V 时） | 58.4 (200V) 40.5 (400V) | 82.0 (200V) 40.5 (400V) | |||
| 临时冷却水压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷却水进出口压差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 初级压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2吹扫_ | 轴 | SLM | 五 | |||||||
| 加斯巴拉 | SLM | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | ||||
*2 LR300、LR600、LR1200、LR1800 的 MBP 可选择是否进行表面处理。
*3 请在订购时注明。
*4 可根据用途估算允许使用气镇的规格。
配饰
■ 消音器
| 模型 | 材料 | 表面 处理 | 大量的 | 连接法兰 | LR300 _ | LR600 _ | LR 1200 | LR 1800 | L& 3601 | LR60 _ | LR 90 | LR 180 | LR421 _ | LR421- T |
| RS-01 + 套件 A | SUS304_ _ | GBB 处理 | 4.1公斤 _ | KF40 | 〇 | - | - | - | - | 〇 | 〇 | - | - | - |
| RS-01 + 套件 B | KF40 | - | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-02 + 套件 A | 8.3公斤 _ | KF40 | 〇 | - | - | - | - | - | - | 〇 | - | - | ||
| RS-02 + 套件 B | KF40 | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-03 + 套件 A | 抛光板 | 12.5公斤 _ | KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | 〇 | 〇 | |
| RS-03 + 套件 B | - | - | - | - | 〇 | - | - | - | - | - |
排气速度曲线
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尺寸图
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