ULVAC爱发科 LS系列螺杆式干式真空泵 LS120A
螺杆式干式真空泵LS系列LSULVAC特性/规格常问问题适用性报告LS系列是属于螺杆式干式真空泵的真空泵。以往，为了提高抽速而消耗大量电力，但结合本公司独创的螺杆形状和省电技术，实现了高速抽气和低耗电并重的干式真空泵。共有 4 种型号，您可以根据设备的大小、使用条件和用途选择具有最佳泵送能力的泵。特征接近大气压的抽速可达80m3 / h，抽气时间比常规真空泵可缩短20%左右。作为标准安装的特殊消音
螺杆式干式真空泵
LS系列
LS
ULVAC
LS系列是属于螺杆式干式真空泵的真空泵。以往，为了提高抽速而消耗大量电力，但结合本公司独创的螺杆形状和省电技术，实现了高速抽气和低耗电并重的干式真空泵。
共有 4 种型号，您可以根据设备的大小、使用条件和用途选择具有最佳泵送能力的泵。
共有 4 种型号，您可以根据设备的大小、使用条件和用途选择具有最佳泵送能力的泵。
特征
接近大气压的抽速可达80m3 / h，抽气时间比常规真空泵可缩短20%左右。
作为标准安装的特殊消音器消除了干式真空泵特有的噪音问题。极限压力下的噪音值为 61 dB(A) 或更低，是驾驶时不会打扰您的水平。(*1)
C 规范中的标准 ECO-SHOCK 技术是 ULVAC 专有的节能技术。极限压力下的功耗可降至 0.6 kW 或更低。(*2)
LS 系列不需要轴封气体。在主要排放氮气、空气等的清洁工艺中可以降低运行成本。(*3)
对于那些想要进一步提高抽速的人，我们建议结合机械增压泵。通过将它们结合起来，可以达到 120 到1200m 3 /h。
(*1) 对于 LS120A-C
(*2) 对于 C 规格
(*3) 对于 L 规格，吹扫气体也可以流动。
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用法
C 规格：清洁工艺（LS***AC）
特点：内置ECO-SHOCK的低功耗类型
应用：用于清洁排气，例如排气和N2排气
溅射/沉积/粘合/负载锁定室/ TMP辅助等.L 规格：轻工艺（LS***AL）
特点：具有表面处理和吹扫功能的轻工艺类型应用： 真空干燥、冷冻干燥、灰化、一般工业应用等
，适用于蒸汽和挥发性化学物质排放等轻工艺
规格
| 模型 | （C：C规格） | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
| C。 | L. | C。 | L. | C。 | L. | C。 | L. | |||
| 最大抽速 | 立方米/小时 | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 极限压力 | 帕 | ≤0.6 | ≤0.1 | |||||||
| 动力压力 | 200V 级：三相，50/60Hz，AC200-240V 或 400V 级：三相，50/60Hz，AC380-480V | |||||||||
| 大约耗电量 *1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
| 冷却水量 | 升/分钟 | > 2.0 | > 4.0 | |||||||
| 驳船气量*2 | SLM | ー | 0 到 50 | ー | 0 到 50 | ー | 0 到 50 | ー | 0 到 50 | |
| 最大蒸汽处理 *3 | 公斤/小时 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | |
| 噪音水平 | 分贝(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 进气口 | KF（水平）/VG50（垂直） | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
| 排气口 | KF40 | |||||||||
| 大量的 | 公斤 | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
| 符合标准 | CE, cTUVus | |||||||||
| 标准配件 | 使用说明书（CD-R）、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器护罩 | |||||||||
| 机身选项 | 电压规格：200V级或400V级，密封材料：全氟橡胶（仅限L型） | |||||||||
| 外部选项 | MBP进气转换法兰、外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元（进气、信号）、吹扫气阀 | |||||||||
*1 在极限压力下
*2 C 规格的边缘气体不能流动。
*3 这是使用驳船气体时可以处理的最大水蒸气量。
*4 C 规格不是无泄漏兼容的。
排气速度曲线
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尺寸图
