ULVAC爱发科PRC-003A机械增压泵
机械增压泵ULVAC特性/规格常问问题适用性报告PRC系列是机械增压泵，主要设计用于对清洁度要求特别高的半导体和液晶制造工艺。采用密封马达，防止轴封漏油。也可选择大气压驱动型。特征由于无油外壳室内没有润滑油，因此即使在水蒸气和溶剂等蒸汽的情况下也可以获得稳定的性能。采用封闭式电机 通过采用封闭式电机，我们能够消除大气/真空机械密封。可以在干净的环境中使用，不用担心漏油。耐蚀性优异的表面处理主要部件
机械增压泵
ULVAC
PRC系列是机械增压泵，主要设计用于对清洁度要求特别高的半导体和液晶制造工艺。
采用密封马达，防止轴封漏油。也可选择大气压驱动型。
采用密封马达，防止轴封漏油。也可选择大气压驱动型。
特征
由于无油
外壳室内没有润滑油，因此即使在水蒸气和溶剂等蒸汽的情况下也可以获得稳定的性能。采用
封闭式电机 通过采用封闭式电机，我们能够消除大气/真空机械密封。可以在干净的环境中使用，不用担心漏油。耐蚀性优异的表面处理
主要部件采用耐蚀铝处理，表面硬度高，耐蚀性优异，可抑制泵内部的划痕和腐蚀。也可提供不进行表面处理的选项。对缩短抽真空时间有效的大气压驱动型（选件：变频器）
可与低真空泵同时启动，因此与标准型相比可缩短抽真空时间。对于特殊应用，
除了可选标准外，我们还提供特殊应用型号。
| 使用示例 | 类型（种类） | 适用机型 | 表面处理 | 油 |
| 排气和惰性气体排放 表面处理提高了对异物的强度 | 标准 | PRC-003A、PRC-006A、 PRC-012A、PRC-018A | 〇*1 | R-42 矿物油 |
| 排气或惰性气体排气 想要抑制因吸湿而产生的极限压力影响时 | X | PRC-003A-X、PRC-006A-X、 PRC-012A-X、PRC-018A-X | ✖ | R-42 矿物油 |
| 防止腐蚀性气体、可燃气体和氧化性气体引起的油质劣化 通过表面处理提高了对异物的抵抗力 | F。 | PRC-003A-F、PRC-006A-F、 PRC-012A-F、PRC-018A-F | 〇 | J25F *2 氟油 |
*1 在进行表面处理的情况下，由于水分吸附，废气可能会释放出来，这可能会影响排气时间。
*2 氟油用于组装检查，但不包括在内。如有需要，将另行安排。
用法
蒸发、溅射、离子镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、泄漏测试设备
气体置换、充填、真空绝热
热处理炉、熔炼炉
其他各种真空装置
规格
| 型号 *1 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | 中国-018A | ||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 280m3 /h （ 4670L /min） | 500m3 /h ( 8330L /min) | 1000m3 /h ( 16700L /min) | 1500m3 /h ( 25000L /min) | |
| 60赫兹 | 330m3 /h （ 5500L /min） | 600m3 /h （ 10000L /min） | 1200m3 /h ( 20000L /min) | 1800m3 /h （ 30000L /min） | ||
| 最大吸入压力 | 50赫兹 | 1.2 × 103Pa | 1.3 × 103Pa | 1.2 × 103Pa | ||
| 60赫兹 | 9.3 × 102Pa | 1.1 × 103Pa | 9.3 × 102Pa | |||
| 最大允许压差 | 50赫兹 | 4.0 x 103帕 | 7.3 x 103帕 | 4.3 × 103Pa | ||
| 60赫兹 | 3.3× 103帕 | 6.0 x 103帕 | 3.2 × 103Pa | |||
| 极限压力*2 | 4.0×10 -1帕 | 6.7×10 -1帕 | ||||
| 可驱动压力 | ~1.0 x 10 5 Pa（大气压驱动型） | |||||
| 马达*3 | 格式 | 罐装式三相感应电动机 | ||||
| 高效率等级 | ー | |||||
| 输出 | 0.75 千瓦（2 极） | 2.2 千瓦（2 极） | 3.7 千瓦（2 极） | 5.5 千瓦（2 极） | ||
| 电压 （200V级电机） | 50赫兹 | 200V | ||||
| 60赫兹 | 200/220V | |||||
| 旧油*4 | ULVOIL R-42 | |||||
| 所需油量 | 0.7L | 1.5L | 1.9L | |||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||
| 冷却水 | 初级压力 | 0.3 兆帕 | ||||
| 入口/出口压差 | 0.01MPa以上 | |||||
| 冷却水量 | 2升/分钟 | 32升/分钟 | ||||
| 冷却水温度*5 | 5-30℃ | |||||
| 进气口 JIS-B-2290 | 相当于VG80 | 相当于VG100 | 相当于VG150 | |||
| 排气口尺寸 JIS-B-2290 | 相当于VF80 | 相当于 VF100 | ||||
| 尺寸 W×D×H *6 | 296×575×260mm | 356×619×320mm | 406×759×340mm | 406×989×340mm | ||
| 大量的 | 51 公斤 | 86 公斤 | 118公斤 | 150 公斤 | ||
| 标准辅助泵 | VD60C | VD90C | VS2401 | VS2401 | ||
| 标准配件 | 1份使用说明书，1份机油 | |||||
注）本规格表使用SI单位制。转换为非 SI 单位如下。
4.0 x 10 -1 帕 = 3.0 x 10 -3托
*1 标准产品经过表面处理（阳极氧化膜）。作为选项，可以选择不进行表面处理。
*2 用皮拉尼真空计测量（辅助泵和使用的油是标准的）。
*3 不兼容耐压防爆和安全增强防爆。
*4 可选择氟油（J25F）作为选项。
*5 在非冷凝环境中使用。
*6 对于其他尺寸，请查看我们网站上发布的 CAD 数据。
排气速度曲线
PRC-003A/006A | PRC-012A/018A |
尺寸图
| PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | 中国-018A | |
| W。 | 296 | 356 | 406 | 406 |
| D. | 575 | 619 | 759 | 989 |
| H。 | 260 | 320 | 340 | 340 |