ULVAC爱发科多级罗茨干式真空泵 ES10
多级罗茨干式真空泵省电附件生态冲击ULVAC特性/规格常问问题适用性报告ECO-SHOCK 是一款划时代的附件，可与目前使用的干式真空泵相连，显着降低干式泵的能耗。特征有助于节能干式真空泵的耗电量最多可降低80%（与我公司产品相比）。 *不能用于用于排放可燃、可燃或有毒气体的泵。提高干泵性能 可以提高极限压力性能可以降低排气噪音在所有压力范围内都不会降低抽速 在经常在 1000Pa 以下连续运行的
多级罗茨干式真空泵
省电附件
生态冲击
ULVAC
ECO-SHOCK 是一款 有助于节能 提高干泵性能 可以提高 易于安装 用于排出空气、氮气、氩气等惰性气体的干式真空泵 用于溅射等的装卸室的干式真空泵。 *1：用于干泵的工艺气体，吹扫气体 0 Pam3/s *1 电源频率 60 Hz *1 电源频率 60Hz ES4A NW40 ES4A NW50 ES10
划时代的附件，可与目前使用的干式真空泵相连，显着降低干式泵的能耗。特征
干式真空泵的耗电量最多可降低80%（与我公司
产品相比）。
*不能用于用于排放可燃、可燃或有毒气体的泵。
极限压力性能
可以降低排气噪音
在所有压力范围内都不会降低抽速 在
经常在 1000Pa 以下连续运行的应用中非常有效
*即使排气口被抽真空 也可以安装在没有任何问题的干泵。用法
规格
模型 ES10 ES4A 电源 规格 单相 AC100V-220V 50/60Hz 单相 AC200V~220V±5% 50/60Hz 能量消耗 65W *1 400W 控制 输入 远程启动/停止（接点DC24V电压） 接点容量：请准备2.0A以上的无电压接点。*2 输出 过流报警输出（接点无电压）
接点容量：DC24V 1.0A启动确认、节能确认、主机报警、
过流报警展示 显示行驶时间 运行时间、启动确认、节能确认、
主机报警、过流报警外形尺寸 主机 175mm x 330mm x 240mm 250 毫米 x 475 毫米 x 373 毫米 阀单元 Φ66mm x 110mm (NW40) *3 这是一种选择。 大量的 主体单位：9.2kg 阀门单位：800g 32公斤 联系 连接端口
预装G1/4" (INLET, OUTLET)连接器Φ16mm管接头
（推荐1.5m以下）
*2：当手动启动/停止 ES4A 时，
可以通过跨接控制连接器的 PIN 来打开/关闭电路保护器。
*3：ES10 标配阀门单元。效果示例
ES4A
我们的泵型号 LR1800 LR3601-R 排气速度*1 机械增压泵 1784 立方米/小时（29700 升/分钟） 3200m3 /hr ( 53333L /min) 干泵 237立方米/小时（3950升/分钟） 440m3 /hr ( 7333L /min) 平均耗电量
*2 *3极限压力运行 没有任何 6.0千瓦 7.8 千瓦 连接 ES4A 时 2.7千瓦 3.2千瓦 减少率 55% 59% 反复排气时*4 没有任何 7.2千瓦 9.6 千瓦 连接 ES4A 时 5.7千瓦 6.3千瓦 减少率 二十一 ％ 34%
*2 密封气体 5SLM
*3 包括 ECO-SHOCK ES4A 的功耗
*4 300L 腔室重复排气 60 秒节拍的测量示例ES10
型号名称 LR60 LR90 LR180 排气速度*1 1300升/分钟 2100升/分钟 3980升/分钟 实测功耗*2 2.1kW 3.6kW 6.6kW 附上 ECO-SHOCK 时测得的功耗*3 *4 0.7kW 1.0kW 1.6kW 功率降低率 67% 72% 76%
*2 功耗是极限压力下的典型值
*3 包括 ECO-SHOCK 的功耗
*4 对于密封气体和气镇流量 0 Pa m3/s。它根据密封气体和气镇的流量而变化。尺寸图
阀组外观
