ULVAC爱发科 GR系列多级罗茨干式真空泵GR60A
多级罗茨干式真空泵GR系列GRULVAC特性/规格常问问题适用性报告可选部件和消耗品干式真空泵 GR 系列是基于成熟可靠的 LR/HR 系列为一般工业设计的结构简单的泵。特征可用于高负荷应用，如反复抽真空和在高压区域连续运行。非常适合需要高吞吐量的负载锁定室（装载/卸载室）的排气兼容通用感应电机可加装防爆电机等特殊电机（选配）采用多电压兼容电机用法排出空气和惰性气体等清洁气体各种成膜设备上下料室的
多级罗茨干式真空泵
GR系列
GR
ULVAC
干式真空泵 GR 系列是基于成熟可靠的 LR/HR 系列为一般工业设计的结构简单的泵。
特征
可用于高负荷应用，如反复抽真空和在高压区域连续运行。
非常适合需要高吞吐量的负载锁定室（装载/卸载室）的排气
兼容通用感应电机
可加装防爆电机等特殊电机（选配）
采用多电压兼容电机
用法
排出空气和惰性气体等清洁气体
各种成膜设备上下料室的排气
真空干燥、真空气体置换、真空脱泡等一般工业应用
真空绝热、充气等真空气体置换
规格
| 模型 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时（升/分钟） | 62 (1030) | 112 (1030) | 183 (3100) | |||
| 60赫兹 | 立方米/小时（升/分钟） | 80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3850) | ||||
| 极限压力*1 | 帕 | 5.0 | ||||||
| 最大入口压力 | 气压 | |||||||
| 最大出口压力 | 帕 | 1至大气压 | ||||||
| 进气口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | NW40 | |||||||
| DRP表面处理 | 〇 | |||||||
| 马达 | 输出 [千瓦] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50赫兹 | 200~240/380~415 | ||||||
| 60赫兹 | 200~240/380~460 | |||||||
| 大量的 | 公斤 | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 一次供水压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 进出口压差 | 兆帕 | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | ℃ | 10~30*2 | ||||||
| 冷却水考虑 | 升/分钟 | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次供应压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||
| 二次侧 调整压力*3 | 兆帕 | 0.05~0.1（运行中） | ||||||
| 轴 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 极限压力是氮气（轴封气体）为 5.0SLM 时的值。
*2 无冷凝。
*3 这是由调节器调整的压力表值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为 5.0SLM。
配饰
| 模型 | 材料 | 表面处理 | 质量（公斤） | 连接 法兰 | GR60A | GR90A | GR180A | |
| 消音器 | RS-01+ 套件 A | SUS304 | GBB处理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
| RS-02+ 套件 C | SUS304 | GBB处理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 | |
排气曲线
尺寸图
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