ULVAC爱发科HR60多级罗茨干式真空泵
多级罗茨干式真空泵HR/UR系列ULVAC特性/规格常问问题适用性报告通过在高温范围内使泵体的温度均匀化，该泵能够将CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以气态排出。特征可以将在高温区浸泡CVD、蚀刻等产生的升华废气以气态排出。UR 系列可以达到比 HR 系列更高的温度。配备氦气密封罐装电机，由于其密封结构，非常安全。瞬时停电对策 1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐蚀性主要部件采用表面硬度高、
多级罗茨干式真空泵
HR/UR系列
ULVAC
通过在高温范围内使泵体的温度均匀化，该泵能够将CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以气态排出。
特征
可以将在高温区浸泡CVD、蚀刻等
产生的升华废气以气态排出。
UR 系列可以达到比 HR 系列更高的温度。配备氦气密封
罐装电机，由于其密封结构，非常安全。
瞬时停电对策 1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐蚀性
主要部件采用表面硬度高、耐蚀性优异的特殊表面处理。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。
可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。
用法
CVD设备
蚀刻设备
灰化装置
ALD、ALH 等
规格
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 使用的泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| 公安部 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 62 (1030) | 112 (1860) | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | ||
| 60赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 80 (1333) | 126 (2100) | 365 (6,080) | 701 (11,700) | 1,051 (17,500) | |||
| 极限压力 | 帕 | 五 | 0.67 | ||||||
| 最大入口压力 （吸入压力） | 大气压*1 | ||||||||
| 最大出口压力 （排气压力） | 帕 | 1至大气压 | |||||||
| 进气口（CE规格） | VG50 (KF50) | VG80 (KF50) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | |||||
| 排气口 | KF40 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 电力 | 三相 | VAC(赫兹) | 200(50/60)、220(60) | ||||||
| 当前值 | 正常时间 | 一个。 | 7.1 （200V 时） | 11.2 （200V 时） | 7.8 （200V 时） | 12.9 （200V 时） | 15.4 （200V 时） | ||
| 最大值 | 一个。 | 7.3 （200V 时） | 11.8 （200V 时） | 8.1 （200V 时） | 13.8 （200V 时） | 18.9 （200V 时） | |||
| 临时冷却水压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷却水进出口压差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 初级压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| N2吹扫_ | 轴 | SLM | 五 | ||||||
| 加斯巴拉 | SLM | 0~45 | |||||||
*1 HR300、HR600、HR1200 不应在 200Pa 或更高的吸入压力下连续运行。
尺寸图
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