ULVAC爱发科 UR421-T干式真空泵
多级罗茨干式真空泵HR/UR系列乌尔ULVAC特性/规格常问问题适用性报告通过在高温范围内使泵体的温度均匀化，该泵能够以气态排出由CVD、蚀刻等产生的升华废气物质。特征可以将在高温区浸泡CVD、蚀刻等产生的升华废气以气态排出。UR 系列可以达到比 HR 系列更高的温度。配备氦气密封罐装电机，由于其密封结构，非常安全。瞬时停电对策：采取1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐蚀性主要部件采用表面
多级罗茨干式真空泵
HR/UR系列
乌尔
ULVAC
通过在高温范围内使泵体的温度均匀化，该泵能够以气态排出由CVD、蚀刻等产生的升华废气物质。
特征
可以将在高温区浸泡CVD、蚀刻等
产生的升华废气以气态排出。
UR 系列可以达到比 HR 系列更高的温度。配备氦气密封
罐装电机，由于其密封结构，非常安全。
瞬时停电对策：采取1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐蚀性
主要部件采用表面硬度高、耐蚀性优异的特殊表面处理。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。通讯功能：
可以读取与泵运行状态和警告/报警历史相关的数据。通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。
用法
CVD设备
蚀刻设备
灰化装置
ALD、ALH 等
规格
| 模型 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用的泵 | DRP | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| MBP | - | PRC-006A | PRC-012A | 中国-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大抽速 | 410m3 /h （6833L /min） | 653立方米/小时（ 10883 升/分钟） | 1012立方米/小时（ 16867 升/分钟） | 1701立方米/小时（ 28350 升/分钟） | 2700m3 /h （ 45000L /min） | ||||
| 极限压力 | 5.0帕 | ||||||||
| 最大入口压力 （吸入压力） | 大气压*1 | ||||||||
| 最大出口压力 （排气压力） | 1至大气压Pa | ||||||||
| 进气口（CE规格） | VG100 | VG80(NW80) | VG100 (NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排气口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 大量的 | 415公斤 | 370 公斤 | 403公斤 | 553公斤 | 720公斤 | ||||
| 电力 | 三相 | 180-240VAC/ 380-440VAC (50/60Hz) | 200VAC(50/60Hz) /220VAC(60Hz) | 180-240VAC/ 380-440VAC (50/60Hz) | |||||
| 当前值 | 正常时间 | 23 A（200V 时） | 16.4A（200V 时） | 18.9A（200V 时） | 29.2 A (200V) 20.5 A (400V) | 39.8 A（200V 时） 20.5A（400V 时） | |||
| 最大值 | 52.5A（200V 时） | 17.3A（200V 时） | 22.4A（200V 时） | 34.9 A（200V 时） 40.5A（400V 时） | 68.3 A（200V 时） 40.5A（400V 时） | ||||
| 临时冷却水压力 | 0.2~0.5Mpa | 0.1~0.3Mpa | 0.2~0.5Mpa | ||||||
| 冷却水进出口压差 | >0.2 兆帕 | >0.1 兆帕 | >0.1 兆帕 | >0.1 兆帕 | >0.2 兆帕 | ||||
| 冷却水流量 | >5.0 升/分钟 | ||||||||
| 吹扫气体 | 初级压力 | 0.1~0.5Mpa | |||||||
| 二次压力 | 0.05~0.1Mpa | ||||||||
| N2吹扫_ | 轴 | 5 个 SLM | |||||||
| 加斯巴拉 | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
*1 UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT 不应在 200Pa 或更高的吸入压力下连续运行。
* 对于规格表中未列出的 UR 系列的订单，请单独检查。
■ 驾驶模式
| 驱动方式 | 1 | 2 | 3 | ||||
| N2流量_ | SLM | 0 | 五 | 5~50 *1 | |||
订货时请注明操作方式。（UR 系列的标准设置：3）
*1 UR421-T 和 UR3601-TT 的 N2 流量为 5~200SLM。