成都西野供应：ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵MS120A
螺杆式干式真空泵MS系列MS120AULVAC特性/规格常问问题MS系列是属于螺杆式干式真空泵的真空泵。在传统的LS系列的基础上，这是一款耐加工的干式真空泵，具有更高的耐腐蚀性和排粉性能。设计用于涉及腐蚀性气体和粉末排放的真空工艺。特征通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊的表面处理，实现了高耐腐蚀性。ULVAC 独特的螺杆式转子轴设计实现了高排粉性能。在从大气压到极限压力的所有压力范围内都可以连续
螺杆式干式真空泵
MS系列
MS120A
ULVAC
MS系列是属于螺杆式干式真空泵的真空泵。在传统的LS系列的基础上，这是一款耐加工的干式真空泵，具有更高的耐腐蚀性和排粉性能。设计用于涉及腐蚀性气体和粉末排放的真空工艺。
特征
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊的表面处理，实现了高耐腐蚀性。
ULVAC 独特的螺杆式转子轴设计实现了高排粉性能。
在从大气压到极限压力的所有压力范围内都可以连续运行。
用法
电子零件和半导体制造设备的真空排气
蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等真空热处理炉真空排气系统
烧结炉、渗碳炉等锂电池制造设备用真空排气系统
电极干燥机、消泡装置、注射装置等医疗及食品相关设备的真空排气系统
冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
规格
| 模型 | MS120A | |
| 最大抽速*1 | 立方米/小时 | 115 |
| 极限压力 | 帕 | ≤0.6 |
| 电源电压 | 三相，50/60Hz，AC200-240V 或三相，50/60Hz，AC380-480V | |
| 大约耗电量 *2 | 千瓦 | 2.4 |
| 冷却水量 | 升/分钟 | >4.0 |
| 吹扫气体量 *1 | SLM | 0~50 |
| 最大水汽处理量 *1*3 | 公斤/小时 | 1.5 |
| 噪音等级*2 | 分贝(A) | 61 |
| 进气口 | KF50（水平）/VG50（垂直） | |
| 排气口 | KF40 | |
| 大量的 | 公斤 | 139（含消音器） |
| 符合标准 | CE, cTUVus | |
| 标准配件 | 快速手册、电源接头、防水线夹、信号接头、电源接头护罩、专用消音器套装 | |
| 机身选项 | 电源电压：200V级或400V级 密封材料：氟橡胶（FKM）或全氟橡胶（FFKM） | |
| 外部选项 | 外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元（入口、信号）、吹扫气阀 | |
*1：典型值
*2：极限压力下
*3：使用吹扫气体时的最大水蒸气处理量。
排气速度曲线
尺寸图
