Modulated PulseAeroBar® MODEL 5635 成都西野贸易有限公司主营：美国，日本等国进口工业品，直接与国外对接；作为工业用产品的先驱，我们拥有多年的服务经验；追求高质量的服务与品质，致力于长久同行的合作；全国供应，价格有优势，详情电话联系。 Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用
Modulated PulseAeroBar®
MODEL 5635
成都西野贸易有限公司
主营：美国，日本等国进口工业品，直接与国外对接；
作为工业用产品的先驱，我们拥有多年的服务经验；
追求高质量的服务与品质，致力于长久同行的合作；
全国供应，价格有优势，详情电话联系。
Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整，使它达到超越 ISO Class 1 洁净水平的
“Extended ISO Class 1”洁净度，适合更微小的先进技术制程。选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。
Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm，这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。
Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散，低残余电压摆幅，和精准的离子平衡，是设计用于有严格要求的半导体和超高洁净制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面，这突破的技术使 5635 MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整，使它能达到ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644-1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度。选配的吹气辅助功能，在洁净要求不高的环境，能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更远的工作距离。
Aerobar 5635 MP 离子棒 的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时，静电针的间距是 5 cm， 这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。
特点 | 优点 |
• ISO 14644-12 (0.01 mm 微粒) 洁净度 | • 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圆技术 |
• 调制脉冲技术 | • 精准的正负平衡，高离子输出量，和长期稳定 |
• 卓越的横向均匀度 | • 整根棒的离子平衡都一致 |
• 低电场电压 | • 可安全靠近晶圆或光罩，放置距离可近至 15 cm |
• 吹气辅助功能 | • 在快速的自动设备，能增强消除静电的能力 |
• 选配的软件有易用的介面和宽阔的可调性 | • 在任何环境都能快速设定和容易调至最佳效能 |
• 警报输出信号 | • 能输出至设备或远端监控系统 |
输入电压 | 24 VDC ±10% |
输出电压 | 13.5 kV p-p (max)，可调 |
工作距离 | 由 15 cm 至 100 cm，根据应用需求或客户规格决定 |
脉冲定频 | 由 1 Hz 至 33 Hz，可调，默认设定 - 5 Hz |
平衡电压 | 自动平衡系统，在可控环境下，整根棒能长期保持在 <±20V @ 61 cm 工作距离。 |
电离技术 | 调制脉冲 (MP) 技术 |
静电针材质 | 单晶硅 |
风嘴间距 | 可选 50 mm 或 75 mm；棒长 450 mm 和 600 mm 只可选 50 mm |
工作效能 | 15 秒 (典型)，Vp-p 摆幅 - 80 Vp-p @ (没有吹气辅助，在棒中下 面 61 cm 工作距离) |
符合洁净度 | 兼容 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644- 1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度 (输出功率：45-50%) |
供气要求 | CDA (清洁干燥压缩空气) 或 氮气 |
气压要求 | 45 psi (最大)；由选配的 8 mm 外径快速接口接入，每个风嘴输 出 1-3.5 litre/min 的风量 |
臭氧产生 | <0.05 ppm |
EMI | 低于背景水平 |
操作环境 | 15-35℃，30-60% RH，无冷凝 |
设定 | DIP 开关设定电源输入选择，有可调电位器微调操作参数 - 正负平 衡，工作频率，功率输出，也可以序列埠输出连接电脑软件作调整 |
封装 | ABS chassis, 棒上不锈钢长条作回馈 |
体积 | 78H x 34W x 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/175 0/1900/2050/2200/2350L mm |
证书 | |
型号 5601 电源分配盒 | |
输入电压 | 24 VDC 提供给一组 4 根棒，组内每个端口最多需要 0.7A 电流； 总电流要求 5.6A |
通信 | 以太网 (RJ-45) 接连电脑；个别离子棒的待机输入 |
警报输出 | 继电接点连地 |
输出端口 | 8 个 RJ-45 端口，每根棒接一个端口 |
LED 显示 | 电源 - 绿，通信 - 黄，警报 - 红，LAN 通信 - 蓝 |
重量 | 0.42 kg |
体积 | 3.1H x 16.0L x 9.2W cm |
证书 | |
简易安装
Aerobar 5635 MP 离子棒只要连上24 VDC 电源即可工作， 如需要也可接入气源作吹气辅助。DIP 开关可设定功率输
出，可根据说明书的建议，设定需要的消散效能。然后在棒上微调操作参数，或透过连接的电脑软件作出，以达到最佳的离子平衡，最小的电压摆幅，和最快的消散时间。在信号和电源的接线盒上的警报连接能输出至设备或中央控制室作远端设备监控。
型号 5601 电源分配盒可作为中央电源和软件控制，能连接 8
根 MP 离子棒。