日本FLUORO福乐F系列15-PK吸笔头|成都西野现货,12英寸Y型PEEK耐化学吸头 大板面湿法转运专用
2026-10-17 13:05:44
黄瑜平
湿法工序里,12英寸晶圆的转运是最需要谨慎的一环。
三百毫米的板面刚从药液槽出来,带着温度、带着残留,重量又实打实摆在那儿。这时候取放它的工具,一要耐得住化学介质,二要托得住整片大板面,三要伸得进槽边与腔体的纵深位置。三条同时满足的,F系列里就是这一支。
日本FLUORO福乐F系列15号吸笔头,对应12英寸(300mm)晶圆,为全系唯一的Y型芯片:厚度 T 3.5mm、吸附面宽 W 47mm、头部长度 55mm、总长 162mm,配 Y型瓶盖131。
几个数据背后的意义很直接:W 47mm 是全系最宽的吸附面,用于在300mm大板面上把负压摊开、稳住接触;L2 162mm 是全系最长的长度,湿法槽边、带遮挡的纵深工位,直头够不着的地方它能探到。Y型结构还便于调整伸入角度。
材质仍为PEEK——优异的抗药性、耐热性与机械强度,经机械加工、热处理、镜面抛光,化学介质中长期作业仍能保持尺寸与吸附性能稳定;笔身采用氟树脂(4F-PTFE),经精密加工确保气密性和耐用性长期稳定可靠。
使用边界:PEEK对浓硫酸存在轻微溶解现象,4F-PTFE对混酸亦有轻微溶解现象,长期接触此类强腐蚀介质应评估更换周期。吸笔头属分体式耗材配件,不可单独使用,须搭配F系列氟树脂笔身组合成套,笔身与吸头分开下单。
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